┃ 直播详情 ┃
自从集成电路发明以后,人类的电子信息技术开始腾飞,60年多年来,在摩尔定律的指导下,半导体集成电路的高速发展彻底改变了电子产品。以计算机为例,1946年诞生的世界第一台数字计算机重30吨,占地约140平方米。而现在一颗指甲大小的芯片其处理能力已经堪比大型计算机。
实际上,集成电路的发展与其制造工艺─——光刻技术的进步密不可分。光刻技术是利用光化学反应原理和化学、物理刻蚀方法将掩模板上的图案传递到晶圆的工艺技术。光刻的原理起源于印刷技术中的照相制版,是在一个平面上加工形成微图形。光刻技术按曝光光源主要分为光学光刻和粒子束光刻(常见的粒子束光刻主要有X射线、电子束和离子束光刻等)。其中光学光刻是目前最主要的光刻技术,在今后几年内其主流地位仍然不可动摇。
光刻技术的进步使得器件的特征尺寸不断减小,芯片的集成度和性能不断提高。在摩尔定律的引领下,光学光刻技术经历了接触/接近、等倍投影、缩小步进投影、步进扫描投影等曝光方式的变革。曝光光源的波长由436纳米(G线)、365纳米(Ⅰ线),发展到248纳米(KrF),再到193纳米( ArF)再到32 ~16 纳米的极紫外光。技术节点从1978年的1.5微米、1微米、0.5微米、90纳米、45纳米......一直到目前的3纳米。集成电路的发展始终随着光学光刻技术的不断创新向前推进。
光刻机(也称光刻系统)是光刻技术的关键装备,其构成主要包括光刻光源、均匀照明系统、投影物镜系统、机械及控制系统(包括工件台、掩膜台、硅片传输系统等)。其中光刻光源是光刻机的核心部分。随着集成电路器件尺寸的不断缩小,芯片集成度和运算速度的不断提高,对光刻技术曝光分辨率也提出更高的要求。
直播时间:2023年12月12日 19:00~20:30
直播主题:从光刻技术看半导体先进制程演进
▶ 本期看点
① 国产5G旗舰机的王者归来
② 如何理解摩尔定律放缓
③ 发展先进制程的必要性
④ 半导体关键技术周期性与投研感悟
▶ 嘉宾介绍
分享嘉宾————王致人
资深半导体行业投资人。中欧国际工商学院EMBA,美国波士顿学院(BC)金融硕士,超过20年产业研究与证券投资经历,曾任美国国际集团(AIG)权益投资部经理,汇添富基金国际投资副总监,现任上海一家私募基金管理合伙人,深耕半导体晶圆制造与设备领域。具备美国特许金融分析师(CFA)、财务风险经理人(FRM)与中国基金业协会注册基金经理等资质,也是国际光学工程学会(SPIE)、中国电源学会会员。
主持人————张国斌
电子创新网创始人兼CEO ,
西安电子科技大学电子工程专业毕业,半导体领域知名KOL。
有多年的半导体媒体内容与运营经验,撰写过大量产业分析文章。(微信号:18676786761)
▶ 直播福利
1、预报名奖:20元京东E卡(10名)
通过小鹅通平台填写预约信息,我们将在所有预报名的用户中随机抽取10名,送出价值20元的京东E卡。
2、优秀提问奖:30元京东E卡(5名)
直播期间,在小鹅通平台评论区参与提问,随机抽取5名提问用户,送出价值30元的京东E卡。
注意事项
请预约直播的用户填写正确的邮箱,我们将通过邮件的方式联系获奖者。如因用户信息填写不全无法发放奖励的,自动取消获奖资格,随机抽取其他人员。直播福利的最终解释权归属电子创新网所有。
扫描以下二维码进行预约报名吧!
欢迎扫码加入直播交流群,和同行进行深入沟通交流!